在光刻机路线上,不去梭哈湿刻法,而是全力押注干刻法,却失败了,白白耗费人力财力时间。
今后,逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场,先干翻了小霓虹!
“所以啊,尹教授,我知道你很急,但你先别急,ArFi会有的,EUV也会有的!”
陆飞环顾四周,激励士气。
“陆总!”
尹志尧郑重地点了下头,他作为中微半导体的领军人,非常清楚逻辑是两条腿走路,既跟微电子为首的单位合作ArFi光刻机,又跟长春光机为主的科研所研究EUV光刻机。
而且满世界找帮手,比如徕卡。
“老孙,这次的奖励方案做出来了嘛?”
陆飞侧目望向孙红军。
“已经拟出个初步方案,就等您来定。”
孙红军应了一声。
“嗯,但凡这次参与光刻机项目的,哪怕是拧了个螺丝的,也要多发奖金!”
陆飞双手叉腰,“65nm有了,还怕没有ArFi?没有EUV?接下来我们就向32nm、28nm,甚至28nm以下的发起冲击,不管是10年、20年,还是多长时间,也要搞出来!把这颗工业明珠给我摘下来,当弹珠卖!”
“我就是怕耽误了先进制程工艺的进程,毕竟我们买不到最先进的DUV光刻机。”
尹志尧脸上露出一丝愧疚。
“梁博士,你的意思呢?”
陆飞把目光投向梁孟松。
“陆总放心,难度肯定是有的,但我可以保证,32nm,今年下半年就能风险性试产。”
梁孟松话锋一转,说出难题。
芯片代工制造的过程非常复杂,需要多方面的技术和设备支持,就像14nm是个关键的分界线,28nm也是个关键的分界线。
但设备还不是他最担心的,他最担心的是中芯被台积电打倒之后,下一个就轮到逻辑。
“这种情况我不是没有考虑。”
陆飞摆了摆手:“所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电,就是让章忠谋顾虑,既想对付我们,又怕失去我们的订单。”
“可按我对章忠谋的了解,肯定不会善罢甘休。”梁孟松忧心道,“另外还有三星……”
陆飞笑道:“梁博士,三星现在的技术负责人还是蒋尚义,哪怕拿到了EUV光刻机,你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗?”
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