陆飞挑了挑眉,倍感意外,这么凑巧!
EUV光刻机的出现,相当于光刻机技术和设备正式发展到第五代,遥遥领先于他们。
第一代光刻机是以436nm的g-line汞灯光源为主,只适用于5μm以上制程。
之后出现了365nm的i-line汞灯光源的第二代光刻机,制程精度来到了350到500nm。
这两代都只能算是接近式光刻机,到了第三代扫描投影式光刻机,才实现了跨越式的突破,把最小工艺推进至150到250nm。
他们生产的65nmArF干式光刻机,算是第四代,也就是步进式投影式光刻机,制程工艺最高可以推进到65nm,想要更上一层——
就得用到浸入技术,也就是让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中,在此基础上,就有了四代半的浸入步进式投影式光刻机。
本来,逻辑跟ASML这些国际一线的光刻机厂商,就只剩ArFi这么个半代差距。
但EUV光刻机一出现,又把这个差距拉到了至少1.5代,而且这个技术差距,不像制程工艺那么好追,是整个产业链的全面落后。
“不是我急,陆总,一旦EUV预生产成功的话,英特尔、三星、台积电也许不出三五年,就能得到EUV光刻机的生产线……”
尹志尧话里无不透着焦虑。
“尹教授,这台EUV,ASML、三星、英特尔、蔡司、台积电它们花了多久才研制出来?”陆飞透过面罩的玻璃,直直看去。
“从林本坚提出浸润式微影技术的理论,到现在,大概十三、十四年。”
梁孟松站出来回答。
“对嘛,这不就结了。”
陆飞拍了拍尹志尧的肩膀,“EUV集欧美日韩这么多全球最顶尖的半导体公司和人才,也要花13年的时间,何况是我们呢!”
“陆总说的没毛病!”
孙红军机敏地当捧哏。
“咱们研究起步晚,技术经验积累少,人才还不够不精,再加上特么的技术封锁,能在这么短的时间,攻克65nmArF干式光刻机,就已经很不正常了,再快就该拍科幻片了。”
陆飞笑道:“落后不可怕,可怕的是不追赶,你看我们现在,已经步入正轨了。”
“可不是嘛,快赶上小霓虹了!”
孙红军嘿然一笑。
就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能,
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