但是DUV干式光刻机的话，那么问题可就比较大了，这玩意的ARF光源可不好搞……但是就算不好搞，他多少还有点信心在最近两年内搞出来。
至于DUV浸润式光刻机，说实话，王道林自己也不知道什么能搞出来。
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