源的了解,在这个时候主动举手,想必会有什么新的消息。
所以不敢有任何迟疑,他连忙对徐源说:
“徐院士是有什么新的观点吗?”
“请讲。”
此话一出,在场众人的目光,也再次集中到了徐源的身上。
迎上大家神情不同的眼神,徐源倒是没想太多,当即便把自己组织好的语言讲出来。
“是这样的院长,之前我曾参加过赵翔教授的稳态微聚束项目,并且成功验证了这个理论。”
“我认为稳态微聚束产生的光源,非常适合进行EUV光刻。”
“其中可行性很高。”
“或许能作为我们另外一种全新的光刻思路。”
光源问题本来就是光刻机重要一环,在场众人中显然也知道稳态微聚束的事,被徐源这么一提醒,思维不由得也快速运转起来。
似乎是在分析着这件事的可行性。
白新周则面露喜色,下意识脱口问道:“是院里正在建设的高能同步辐射光源吗?”
“是的。”
“不过用于光刻研究的话,可能需要进行一定改建。”
徐源面对询问并未卖关子,立刻点头回答。
就这样最终院里初步认可了此方向,并把项目交给徐源尽快拿出详细的方案,如果经过研讨确认可行,那么便会和极紫外光刻机的研究同步进行。
虽然徐源没想到只是参加个会议,所负责的项目又多了一个。
但事有轻重缓急,他自然是欣然同意。
而就在会议结束之后,当天官方也正式进行回应。
明确表示接下来将全力解决高端芯片制造问题,让国内网友振奋的同时,也完全出乎了海外方面的预料。
……
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